Компания Samsung Electronics объявила о начале массового производства 14-нанометровой памяти DRAM с применением фотолитографии в жёстком ультрафиолетовом диапазоне (EUV). В марте прошлого года компания поставила первую в отрасли память EUV DRAM.

https://yandex.ru/news/story/Samsung_nachinaet_massovoe_proizvodstvo_14-nanometrovoj_pamyati_DRAM_DDR5_sprimeneniem_EUV--fa158f3b83cbc0b937679f5f9545a3fc?lang=ru&from=rss&wan=1&stid=V8KmqDV_Wu6Tgtcrf5Ab