Электромозг

Когда в моих статьях заходит речь о литографах, в комментариях появляются справедливые замечания о том, что литографическая линия состоит не только из, собственно, литографов (ещё называемых степперами), но и из большого числа другого оборудования (установки травления, осаждения и т.п.).

Также читатели постоянно напоминают и о том, что для литографического производства требуются химические вещества очень высокой степени очистки, т.н. «чистая химия». Зачастую такие напоминания звучат менторским тоном, имея ввиду, что этим всем, конечно, в России никто не занимается.

Я понимаю, что в СМИ освещаются не все технические аспекты производства микроэлектроники, а только самые яркие, ключевые, вызывающие эмоцию у большинства обычного населения, не являющегося специалистами в этой области. Таким ключевым элементом литографического производства чипов, несомненно, являются литографы.

Электромозг

20 сентября 2024 года на сайте ГК «Лассард» появилась информация о том, что ими уже произведены 2 опытных образца эксимерного лазера: с источником излучения 248 нм (средний ультрафиолет, MUV) который является важным элементом будущего российского литографа для техпроцесса 130 нм и, возможно, даже с источником излучения 193 нм (дальний или глубокий ультрафиолет, DUV) для следующего литографа на 90 нм., хотя такого уточнения компанией представлено не было, и в кадр цифра 193 нм не попала:



В следующем, 2025-м году, лазеры будут отправлены на испытания, а в 2026-м — выйдут в серию. Проводить тестирование лазеров будут сотрудники «Зеленоградского нанотехнологического центра» (ЗНТЦ), собственно и собирающие литограф.

Электромозг

21 мая 2024 года в Нижнем Новгороде в кулуарах конференции ЦИПР (Цифровая индустрия промышленной России), проходящей с 21 по 24 мая, заместитель министра промышленности и торговли Василий Шпак сообщил о том, что первый российский литограф, обеспечивающий выпуск чипов по техпроцессу 350 нм, уже создан и проходит испытания.

Заместитель министра промышленности и торговли Василий Шпак

В частности, он сказал:

Первый отечественный литограф мы собрали, сделали. Он сейчас проходит уже испытания в составе технологической линейки в Зеленограде.

Дополнительно было сообщено, что следующий литограф, который сможет обеспечить создание чипов по техпроцессу 130 нанометров, планируется создать в 2026 году:

В 2026 году мы должны получить отечественный литограф на 130 нанометров.

Вот вам одновременно два заявления — одно с умиротворяющими словами «уже создан» и второе, которое часто бесит скептиков, «планируется создать». Конечно, читать про то, что уже создано, приятнее, поскольку то, что только планируется создать, не факт, что будет создано, и слабонервным не хочется разочаровываться.