Новый метод позволяет создавать наноматериалы с точностью менее 10 нанометров. Это может проложить путь к быстрой и энергоэффективной электронике.

https://www.popmech.ru/science/news-747083-ispolzovanie-litografii-pozvolilo-sdelat-nanomaterialy-s-razresheniem-v-10-nm/