Группа ученых НИИЯФ МГУ проводит исследования по взаимодействию плазмы с современными материалами с ультранизкой константой диэлектрической проницаемости. Работа в этом направлении может увенчаться созданием комплектующих для электронных устройств с чрезвычайно плотным расположением элементов.

http://www.popmech.ru/article/14934-nanoporistyie-materialyi-dlya-elektroniki/