"Таганрогский технологический институт Южного федерального университета начал подготовку к запуску и развертыванию нанотехнологического комплекса «Нанофаб». ... после завершения работ в сентябре 2007 года таганрогская нанофабрика станет самой мощной в стране.
...
«Нанотехнологический комплекс будет включать в себя девять модулей, которые могут выполнять основные технологические операции при изготовлении наноустройств и наноматериалов: нанесение нанометровых пленок (в несколько атомных слоев), удаление пленок с помощью ионных и лазерных пучков, формообразование, изменение свойств областей и создание новых композиций материалов или устройств на их основе»
...
комплекс оборудования, стоимость которого превышает 300 миллионов рублей, будет использоваться не только для научных исследований и образовательного процесса, но и для выполнения контрактов по заказам промышленности. «Основное направление — производство элементной базы новых нанокомпьютеров. Это очень маленькие элементы, обладающие высоким быстродействием и малой потребляемой мощностью», — уточнил Коноплев. Второе направление — наномеханика, с помощью которой создаются электромеханические устройства, например сенсоры, используемые в автомобильной промышленности, при производстве самолетов, для стабилизации изображения телекамер."
http://www.rosbalt.ru/2007/02/19/286821.html