Antropos, Я тоже оттуда, из Зеленограда: Ангстрем моей "Элме" при НИИМВ, где я на плёнках эпитаксиальных защищался, сосед: подвалами туда ходили. В далёком 68-м мы уже лажанулись, взяв у них кремниевую шайбу монокристалла КДБ-10 в 25 мм без технологии. А за разработку родной технологии на 75 и 100 мм я госпремию в 76-м с начальством пилил, хотя всё сам сделал, вплоть до оригинальных авторских элементов оснастки. И сразу перекинул идею на галлий и германий, отбив у юсов года 4 из 7 лет форы, но которую нас подсадили. До 88-го, когда я ушёл оттуда в свой НТЦ, весь Зелек работал на отечественной технологии (гидридно-хлоридной) и родном оборудовании с "Элиона" и НИИ молекулярной электроники. Сейчас на тех уникальных площадях гермозоны коньяк разливают и мебель из бамбука китайцы делают. На тех площадях, где когда-то норма пылинок была 50 на кубометр.